氦質譜檢漏儀為氣體業(yè)名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到僅對氦氣反應的作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

氦質譜檢漏方法

氦質譜檢漏是真空檢漏域里*的種，由于檢漏效率，簡便易操作，儀器反應靈敏，度，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣分等組成。質譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下人磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中zui常用的兩種方法。